「加熱技術のプロ集団が初出展 高温加熱技術で新たな価値を提案」株式会社第一機電

第一機電は1991年に設立し、当初はトランジスタインバータの製造からスタート。翌年には高周波誘電加熱を利用した結晶育成装置や工業炉の製造、販売を開始し、その後、CZ法による単結晶育成装置や太陽電池用多結晶Si凝固育成装置の販売を始めた。2006年に生産増強に伴い、茨城県北茨城市に生産工場を新設して操業を開始し、多結晶Siインゴットの受託生産や超大型サファイア単結晶引上げ装置を販売している。2017年には同生産工場にオープンラボを新設し、同社製品である工業炉や結晶育成装置、高周波電源などのデモが可能である。素材関連の企業がチャンピオンデータの取得や装置デモのため来場している。

同社は3つのコアとなる加熱技術（高周波誘導加熱、抵抗加熱、通電加熱）を保有し、目的に最適な加熱方式を選定。均一加熱・急速加熱・局所加熱・高温加熱など、加熱技術の特長を活かした装置構成を提案している。なかでも高周波電源にはフルSiC素子を採用。スイッチング効率が従来比で２倍のために電力損失が少なく、冷却装置や熱管理にかかるコストが削減でき、ランニングコストの低減が可能だ。

また、同社にはさまざまな設備を一同に展示したオープンラボがある。設備を購入する前の事前検証やチャンピオンデータの取得といった要望に対応している。なかでも3000℃以上の超高温加熱受託実験は、高周波誘導加熱より、カーボン坩堝を不活性ガス雰囲気中で最高3500℃付近まで加熱を行うことが可能だ。新素材の黒鉛化処理や高融点材料の溶解実験、再結晶化実験に対応している。（文：落合平八郎広報事務所）